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電子工業(yè)廢氣治理怎么做?

編輯:啟綠環(huán)保   瀏覽:  時間:2019-06-04

電子工業(yè)從產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈劃分,自上而下分為電子整機產(chǎn)品、電子基礎(chǔ)產(chǎn)品和電子專用材料三個層次。其中涵蓋:電子專用材料、半導(dǎo)體器件、電子元件及印制電路板、光電器件和電子終端產(chǎn)品等5個方面。
一、電子工業(yè)中VOC排放特征
1.1電子工業(yè)廢氣VOCs產(chǎn)生環(huán)節(jié)及污染物類型
VOCs排放涉及涂裝行業(yè)、農(nóng)藥醫(yī)藥、石油化工行業(yè)、涂料油墨染料生產(chǎn)、家具制造業(yè)、印刷業(yè)、干洗業(yè)、電子工業(yè)、合成革與人造革等行業(yè)。典型電子工業(yè)廢氣VOCs產(chǎn)生環(huán)節(jié)及主要污染物情況見表1。

 
電子工業(yè)中的VOCs種類常見的有30多種,主要來自半導(dǎo)體器件、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機機殼的表面涂層工藝使用溶劑型涂料、清洗工藝(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、電路板清洗、電子組件清洗等)使用有機脫脂劑、脫水劑,感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態(tài)阻焊膜劑、去膜劑等使用有機溶劑,去光刻膠類化合物如DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA則屬于高沸點的硫類和胺類之有機溶劑。
在日本電機、電子行業(yè)VOCs排放量排名位居前二十名的物質(zhì)群依次是異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯仿。
1.2電子工業(yè)廢氣VOCs排放主要特點
電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一,電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類多,組分復(fù)雜。
一般來說,廢氣排放中風量較大,VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點。
排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。
二、VOCs污染防控對策建議
2.1加強源頭控制
加強研究,建立原材料選材及認可數(shù)據(jù)庫,選用高性能、環(huán)保型原材料,尋找替代品,控制配方等多方面減少VOCs使用量,鼓勵VOCs排放企業(yè)積極使用環(huán)保型材料,推進落后傳統(tǒng)工藝的升級換代,使用低揮發(fā)原材料,改善生產(chǎn)操作條件以減少無組織逸散,采用新工藝以減少有機溶劑用量,從源頭控制VOCs排放。
如電路板采用免清洗工藝,推廣使用免清洗助焊劑等。電子終端產(chǎn)品表面涂裝噴漆生產(chǎn)作業(yè)由傳統(tǒng)的空氣噴漆工藝為靜電噴漆工藝取代,以二甲苯等揮發(fā)性有機物為主溶劑的油漆涂料將遂漸淘汰,使用不含有機溶劑或低含量有機溶劑涂料。
表面涂裝推行粉末涂裝工藝,替代油漆涂裝工藝,粉末涂裝工藝的應(yīng)用得到迅速發(fā)展。
2.2推行清潔生產(chǎn)機制
根據(jù)《清潔生產(chǎn)審核暫行辦法》的要求,進一步推動工業(yè)企業(yè)在生產(chǎn)、運輸、儲存、產(chǎn)品等全過程的VOCs的監(jiān)管,從原材料、生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品環(huán)節(jié),推薦和鼓勵采用無毒低毒的替代性原材料,推行利用率高、可循環(huán)回收的生產(chǎn)工藝,改進結(jié)構(gòu)和成分設(shè)計減輕產(chǎn)品使用中的VOCs排放,逐步完善VOCs控制方面的清潔生產(chǎn)指標體系.
國內(nèi)目前沒有相應(yīng)清潔生產(chǎn)指標體系的行業(yè)或技術(shù),可根據(jù)實際情況研究制定清潔生產(chǎn)方案。
2.3強化VOCs的末端治理
對電子工業(yè)VOCs廢氣加裝末端廢氣治理設(shè)施,減少排放到大氣中的VOCs。
現(xiàn)在有的VOCs控制技術(shù)可以簡單分為兩大類:
一類稱為破壞性方法,包括氧化法和生物法,氧化法又可分為直接燃燒法和催化焚燒法;
另一類稱為回收性方法,常用的回收方法有吸收法、吸附法、濃縮法和膜分離法;正在研究開發(fā)的方法還有等離子凈化技術(shù)和光催化氧化技術(shù)。各治理技術(shù)對比情況見表2。

針對電子行業(yè)VOCs排放特點采用相應(yīng)末端治理技術(shù),主要還是吸附法、焚燒法,吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體,吸附劑選擇性高,活性炭屬非極性吸附劑,對非極性化合物有較強的吸附能力,一般可凈化低濃度VOCs,凈化效率可達到90%以上。
沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個裝滿吸附劑的旋轉(zhuǎn)輪,廢氣由旋轉(zhuǎn)輪的上游側(cè)進入濃縮輪的吸附區(qū),使VOCs得到濃縮,再經(jīng)脫附燃燒處理,去除效率可在98%。 對于半導(dǎo)體、TFT—LCD和LED、PCB等企業(yè),有機廢氣一般還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體,治理技術(shù)一般采用組合方式,前端通過噴淋塔淋洗,后接沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+焚燒方法,對電子終端產(chǎn)品企業(yè),多采用活性炭吸附,進行“三防”噴涂需增加除漆霧裝置(水簾或高密度纖維過濾)。
2.4建議實施VOCs總量控制
無組織排放變?yōu)榧杏薪M織排放,并加以收集治理。同建議將“VOCs”納入總量控制指標,并制定減排時,加強環(huán)境審批與監(jiān)管,提高企業(yè)違法成本,對重點核算細則,組織編制并監(jiān)督實施污染物排放總量控制規(guī)企業(yè)進行監(jiān)督性監(jiān)測,建立達標排放責任制,確保企業(yè)劃和年度削減計劃,注重重點減排項目建設(shè)、運行監(jiān)督污染物達標排放。
管理,落實相關(guān)政策措施。逐步完善VOCs控制標準體系,為VOCs總量核算、總量控制提供基礎(chǔ)。
2.5加強科學管理
電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)加強環(huán)境管理,對逸散性無組織排放監(jiān)控,包括設(shè)備與管線組件泄漏、揮發(fā)性有機物液體,儲運及廢水收集、處理和儲存設(shè)施的逸散等,盡可能把無組織排放變?yōu)榧杏薪M織排放,并加以收集治理。
同時,加強環(huán)境審批與監(jiān)管,提高企業(yè)違法成本,對重點企業(yè)進行監(jiān)督性監(jiān)測,家里達標排放責任制,確保企業(yè)污染物達標排放。
來源:環(huán)保之家論壇

 

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